PLASMA ETCHER TETRA 2 PC – ROLL TO ROLL
- Dimensions du système :L 3491 mm, H 1000 mm, P 1278 mm
- Dimensions de lachambre : Ø 90 mm, P 1050 mm
- Volume de lachambre : 2 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle :Par PC (Windows) avec bus industriel
- Automatisation :Traitement au passage (en continu), type ‘Roll-to-Roll’ soit de rouleau à rouleau.
PLASMA ETCHER TETRA 15 LF PC
- Armoire électrique (avec commande) :L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 360 mm, H 150 mm, P 260 mm
- Volume de lachambre : 15 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle :Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 30 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 800 mm, H 600 mm, P 500 mm
- Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 150 mm, P 240 mm
- Volume de lachambre : 30 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
- Automatisation: Ce système peut être intégré dans une ligne de production.
PLASMA ETCHER TETRA 100 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 2000 mm, H 2200 mm, P 2000 mm
- Dimensions de lachambre : L 700 mm, H 200 mm, P 700 mm
- Volume de lachambre : 100 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
- Automatisation: Ce système dispose d’une « porte tiroir ».
PLASMA ETCHER TETRA 120 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2150 mm, P 1000 mm
- Dimensions de lachambre : L 1200 mm, H 150 mm, P 1700 mm
- Volume de lachambre : 120 litres
- Alimentation de gaz :4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
- Automatisation: Ce système dispose d’une porte automatique.
PLASMA ETCHER TETRA 130 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 2100 mm, P 1300 mm
- Dimensions de lachambre : L 400 mm, H 400 mm, P 810 mm
- Volume de lachambre : 130 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unités à 13,56 MHz (en option: 40 kHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
- Propriétés spécifique: Domaine de l’Ultravide (‘UHV’) atteint au moyen d’une pompe turbo-moléculaire.
PLASMA ETCHER TETRA 140 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm
- Dimensions de lachambre : L 1200 mm, H 700 mm, P 1500 mm
- Volume de lachambre : 140 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 140 LF PC V2
- Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm
- Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 100 mm, P 1400 mm
- Volume de lachambre : 140 litres
- Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 150 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1000 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
- Dimensions de lachambre : L 400 mm, H 600 mm, P 625 mm
- Volume de lachambre : 150 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
- Automation: Traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau) pour bandes de 400 mm de largeur et rouleau de 300 mm de diamètre.
PLASMA ETCHER TETRA 185 LF PC ‘DESMEARING’
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
- Dimensions de la chambre: L 400 mm, H 665 mm, P 700 mm
- Volume de la chambre: 185 litres
- Alimentation de gaz :4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
- ‘Desmearing’* de divers matériaux.
- Nettoyage des surface
- Activation des surfaces métalliques
- 7 baies permettent le traitement simultané de 7 plaques.
- Traitement en production de plaques avant découpe de 460 x 610 mm
- ‘Desmearing’ : terme spécifique désignant le micro-ébavurage de la périphérie de trous effectués conventionnellement ou par LASER (résidus carbonisés).
PLASMA ETCHER TETRA 210 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1560 mm, H 2350 mm, P 1860 mm
- Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 200 mm, P 1400 mm
- Volume de lachambre : 210 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 240 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 1700 mm, P 3200 mm
- Dimensions de lachambre : L 305 mm, H 300 mm, P 2600 mm
- Volume de lachambre : 240 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 260 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 2500 mm, H 2200 mm, P 1000 mm
- Dimensions de lachambre : L 650 mm, H 500 mm, P 800 mm
- Volume de lachambre : 260 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 10 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 375 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 600 mm, H 360 mm, P 1900 mm
- Volume de lachambre : 375 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 400 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm
- Dimensions de lachambre : L 915 mm, H 750 mm, P 725 mm
- Volume de lachambre : 400 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
- Automatisation:Le système dispose d’une porte glissante automatique
PLASMA ETCHER TETRA 420 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm
- Dimensions de lachambre : L 750 mm, H 800 mm, P 750 mm
- Volume de lachambre : 420 litres
- Alimentation de gaz :4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 4 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 500 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 1500 mm, H 1700 mm, P 200 mm
- Volume de lachambre : 500 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Porte substrat: 2 systèmes de traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau).
- Contrôle – AsservissementPar PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 575 LF PC
- Armoire électrique (avec commande) :L 1150 mm, H 1900 mm, P 1600 mm
- Dimensions de lachambre : L 600 mm, H 1200 mm, P 800 mm
- Volume de lachambre : 575 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat (modulable)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC
- Dimensions du système :L 600 mm, H 2200 mm, P 1200 mm
- Dimensions de lachambre : L 810 mm, H 810 mm, P 925 mm
- Volume de lachambre : 600 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC V1
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 1000 mm, P 600 mm
- Volume de lachambre : 600 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC V2
- Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 1800 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 580 mm, H 730 mm, P 1000 mm
- Volume de lachambre : 600 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité avec système d’accord d’impédance automatique
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC AVEC TONNEAU ROTATIF V1
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : ∅ 1100 mm, P 700 mm
- Volume de lachambre : 600 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Porte substrat:Tonneau rotatif (avec 4 paniers d’un volume de chacun 30 litres)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 850 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1500 mm, H 2000 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 1300 mm, H 1800 mm, P 400 mm
- Volume de lachambre : 850 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 40 kHz
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 1200 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1000 mm, H 1000 mm, P 1800 mm
- Dimensions de lachambre : L 600 mm, H 1000 mm, P 2000 mm
- Volume de lachambre : 1200 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 3 unité à 40 kHz
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 2000 RF PC
- Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm
- Volume de lachambre : 2000 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 1 unité à 56 MHz
- Portes substrats: Plus de 10 portes substrats
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 2400 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : ∅ 1100, P 2500 mm
- Volume de lachambre : 2400 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Portes substrats: Tonneau rotatif (comprenant 16 paniers d’un volume de 30 litres chacun)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 4400 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 1000 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 1350 mm, H 2600 mm, P 1250 mm
- Volume de lachambre : 4400 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 4 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 5600 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 2200 mm, P 1800 mm
- Dimensions de lachambre : L 2250 mm, H 2450 mm, P 1000 mm
- Volume de lachambre : 5600 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 6 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Porte substrat: Chargement sur un chariot monté sur rails (En option : Tonneau spécial)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 7000 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 2400 mm, H 2300 mm, P 1000 mm
- Dimensions de lachambre : L 2400 mm, H 2100 mm, P 1400 mm
- Volume de lachambre : 7000 litres
- Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 4 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 7300 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm
- Dimensions de lachambre : L 1400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm
- Volume de lachambre : 7300 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 2 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 7500 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 3000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm
- Dimensions de lachambre : L 1500 mm, H 2500 mm, P 2000 mm
- Volume de lachambre : 7500 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 6 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle :Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 8000 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 2000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm
- Dimensions de lachambre : L 1700 mm, H 2800 mm, P 1700 mm
- Volume de lachambre : 8000 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 4 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Contrôle :Par PC (Windows) avec bus industriel
PLASMA ETCHER TETRA 12600 LF PC
- Armoire électrique (avec commande):L 1200 mm, H 2200 mm, P 800 mm
- Dimensions de lachambre : L 2400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm
- Volume de lachambre : 12600 litres
- Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
- Générateur: 6 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
- Porte substrat : Chargement sur un chariot sur rails
- Contrôle :Par PC (Windows) avec bus industriel
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20 mars 2024
