Description

Le système plasma Nano est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 18 à 34 litres utilisé dans les domaines suivants :

• Médical
• Recherche et développement
• Traitement des textiles
• Semiconducteur
• Traitement de plastique
• Électronique

DONNÉES TECHNIQUES NANO VERSION 1

• Dimensions du système :L 560 mm, H 600 mm, P 600 mm
• Matérielde la chambre : Borosilicate / Quartz
• Dimensions de lachambre : Ø 240 mm, P 400 mm
• Support de pièce :1 plateau
• Matériel de lachambre : Acier inoxydable
• Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm
• Support de pièce :1 à 3 plateaux
• Matériel de lachambre : Aluminium
• Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm
• Support de pièce :1 à 3 plateaux
• Volume de lachambre : 18 / 24 litres
• Alimentation de gaz :2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
• Générateur: 100 kHz/500W ou 13,56 MHz/300W
• Pompe à vide :Capacité d’aspiration : 16 à 65 m³/h
• Contrôle :Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

DONNÉES TECHNIQUES NANO VERSION 2

• Dimensions du système :L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
• Matérielde la chambre : Borosilicate / Quartz
• Dimensions de lachambre : Ø 240 mm, P 400 mm // Ø 240 mm, P 600 mm
• Support de pièce :1 plateau
• Matériel de lachambre : Acier inoxydable
• Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm // L 240 mm, H 240 mm, P 600 mm
• Support de pièce :1 à 3 plateaux
• Matériel de lachambre : Aluminium
• Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm // L 240 mm, H 240 mm, P 600 mm
• Support de pièce :1 à 3 plateaux
• Volume de lachambre : 18 à 34 litres
• Alimentation de gaz :2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
• Générateur: 100 kHz/500W ou 80 kHz/1000W ou 13,56 MHz/300W ou 2,45 GHz de 600W
• Pompe à vide :Capacité d’aspiration: 16 à 65 m³/h
• Contrôle:Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, windows, permet une utilisation très conviviale.

DONNÉES TECHNIQUES NANO VERSION 3

• Dimensions du système :L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
• Matérielde la chambre : Borosilicate / Quartz
• Dimensions de lachambre : Ø 240 mm, P 400 mm // Ø 240 mm, P 600 mm
• Support de pièce :1 plateau
• Matériel de lachambre : Acier inoxydable
• Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm // L 240 mm, H 240 mm, P 600 mm
• Support de pièce :1 à 3 plateaux
• Matériel de lachambre : Aluminium
• Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm // L 240 mm, H 240 mm, P 600 mm
• Support de pièce :1 à 3 plateaux
• Volume de lachambre : 18 à 34 litres
• Alimentation de gaz :2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
• Générateur: 100 kHz/500W ou 80 kHz/1000W ou 13,56 MHz/300W ou 2,45 GHz de 600W
• Pompe à vide :Capacité d’aspiration: 16 à 65 m³/h
• Contrôle:Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, windows, permet une utilisation très conviviale.