Description

Le système Plasma FEMTO est un système de plasma semi-automatique de laboratoire d’une capacité de 2,6 litres utilisé dans les domaines suivants :

• L’analyse (SEM, TEM)
• Médical
• Micro-fluidique (PDMS)
• Recherche et développement
• Traitement des textiles
• Semi-conducteur
• Traitement de plastique
• Analyse de l’amiante

DONNÉES TECHNIQUES FEMTO VERSION 1

Dimensions du système : L 320 mm, H 620 mm, P 600 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: semi-automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable digitale

 

DONNÉES TECHNIQUES FEMTO VERSION 2

Dimensions du système : L  560 mm, H 220 mm, P 600 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

 

DONNÉES TECHNIQUES FEMTO VERSION 3

Dimensions du système : L  560 mm, H 220 mm, P 600 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm

Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

DONNÉES TECHNIQUES FEMTO VERSION 4

Dimensions du système : L  800 mm, H 1700 mm, P 600 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm

Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique ou 2.45 GHz/300W

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.