Description

Applications :

Le système plasma Pico est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 5/8 litres utilisé dans les domaines suivants :

• L’analyse (SEM, TEM)
• Médical
• Micro-fluidique (PDMS)
• Recherche et développement
• Traitement des textiles
• Semi-conducteur
• Traitement de tous matériaux
• Analyse de l’amiante
• Électronique

DONNÉES TECHNIQUES PICO VERSION 1

Dimensions du système : L  560 mm, H 320 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 à 2 plateaux

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

 

DONNÉES TECHNIQUES PICO VERSION 2

Dimensions du système : L  560 mm, H 600 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 à 2 plateaux

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

 

DONNÉES TECHNIQUES PICO VERSION 3

Dimensions du système : L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 1 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique ou 2.45 GHz/300W

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 à 2 plateaux

Contrôle : Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.