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Parylene P30
| Matériaux déposés | Parylène N, C, D, F-VT4 |
|---|---|
| Gamme d’épaisseurs | 0,05 à 50 micromètres |
| Dimensions du système | L 1400 mm, H 1700 mm, P 700 mm |
| Dimensions de la chambre | Ø 310 mm, H 500 mm |
| Pyrolyse | 2 kW / max 700 °C |
| Piège à azote liquide | N2 liquide |
| Pompe à vide | Capacité d’aspiration : 25 m3/h |
| Vide limite | 1 x 10-3 mbar |
| Contrôle | Le logiciel sous Windows et l’écran tactile de quinze pouces permettent une utilisation intuitive de l’équipement en automatique ou en manuel. |
| Connexions | 400 V / 16 A / 50-60 Hz |
| Air comprimé | propre, sec, déshuilé : 6 bars |
| Évacuation de pompe | Tuyau de 25 mm intérieur |