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Parylene P120D
| Matériaux déposés | Parylène N, C, D, F-VT4 |
|---|---|
| Gamme d’épaisseurs | 0,05 à 50 micromètres |
| Dimensions du système | L 2200 mm, H 1600 mm, P 2700 mm |
| Dimensions de la chambre | Ø 500 mm, L 610 mm (120 Litres) |
| Dim. du tambour rotatif | Ø 445 mm, L 580 mm (90 Litres) |
| Pyrolyse | 4 kW / max 850 °C |
| Piège à azote liquide | N2 liquide |
| Pompe à vide | Capacité d’aspiration : 1800 m3/h |
| Vide limite | 1 x 10-3 mbar |
| Contrôle | Le logiciel sous Windows et l’écran tactile de quinze pouces permettent une utilisation intuitive de l’équipement en automatique ou en manuel. |
| Connexions | 3 Phases / 400 V AC / 32 A / 50-60 Hz |
| Air comprimé | propre, sec, déshuilé : 6 bars |
| Évacuation de pompe | Tuyau de 40 mm intérieur |