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Parylene P260
| Matériaux déposés | Parylène N, C, D, F-VT4, F-AF4 |
|---|---|
| Gamme d’épaisseurs | 0,05 à 100 micromètres |
| Dimensions du système | L 2600 mm, H 2000 mm, P 1000 mm |
| Dimensions de la chambre | Ø 640 mm, L 800 mm |
| Carrousel | Ø 560 mm, L 650 mm |
| Pyrolyse | 4 kW / max 850 °C |
| Piège à azote liquide | N2 liquide |
| Pompe à vide | Capacité d’aspiration : 1800 m3/h |
| Vide limite | 1 x 10-3 mbar |
| Contrôle | Le logiciel sous Windows et l’écran tactile de quinze pouces permettent une utilisation intuitive de l’équipement en automatique ou en manuel. |
| Connexions | 3 Phases / 400 V AC / 32 A / 50-60 Hz |
| Air comprimé | propre, sec, déshuilé : 6 bars |
| Évacuation de pompe | Tuyau de 42 mm intérieur |