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Parylene P6
| Matériaux déposés | ParylÚne N, C, D, F-VT4 |
|---|---|
| Gamme dâĂ©paisseurs | 0,05 Ă 20 micromĂštres |
| Dimensions du systĂšme | L 700 mm, H 700 mm, P 500 mm |
| Dimensions de la chambre | Ă 200 mm, H 200 mm |
| Pyrolyse | 1,6 kW / max 750 °C |
| Carrousel | Ă 170 mm, H 170 mm |
| PiĂšge Ă azote liquide | N2 liquide |
| Pompe Ă vide | CapacitĂ© dâaspiration : 16 m3/h |
| Vide limite | 1 x 10-3 mbar |
| ContrĂŽle | Le logiciel sous Windows et lâĂ©cran tactile de quinze pouces permettent une utilisation intuitive de lâĂ©quipement en automatique ou en manuel. |
| Connexions | 230 V / 16 A / 50-60 Hz |
| Air comprimé | propre, sec, déshuilé : 6 bars |
| Ăvacuation de pompe | Tuyau de 20 mm intĂ©rieur |