Le système Plasma ZEPTO est un système de plasma semi-automatique de laboratoire d’une capacité de 2,6 litres utilisé dans les domaines suivants :

• Micro-fluidique (PDMS)
• L’analyse (SEM, TEM)
• Médical
• Recherche et développement
• Semi-conducteur
• Traitement de plastique

DONNÉES TECHNIQUES ZEPTO VERSION 1

• Dimensions du système :L 425 mm, H 185 mm, P 450 mm
• Dimensions de lachambre : Ø 105 mm, P 300 mm
• Matière de lachambre : Borosilicate
• Volume de lachambre :  2,6 litres
• Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par des vannes à aiguille
• Générateur: 40KHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
• Pompe à vide :nous consulter
• Support de pièce :1 plateau
• Contrôle :manuel du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.

DONNÉES TECHNIQUES ZEPTO VERSION 2

• Dimensions du système :L 425 mm, H 185 mm, P 450 mm
• Dimensions de lachambre : Ø 105 mm, P 300 mm
• Matière de lachambre : Borosilicate
• Volume de lachambre :  2,6 litres
• Alimentation de gaz :1 à 2 canaux de gaz contôlés par des contrôleurs de débit massique (MFC)
• Générateur: 40KHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
• Pompe à vide :nous consulter
• Support de pièce :1 plateau
• Contrôle :Le système est contrôlé par un PCCE avec un écran tactile intégré de 7  pouces

DONNÉES TECHNIQUES ZEPTO VERSION 3

Adapté au traitement des wafers 6 pouces

• Dimensions du système :L  425 mm, H 310 mm, P 450 mm
• Dimensions de lachambre : Ø 190mm, H 60 mm
• Matière de lachambre : Aluminium
• Volume de lachambre : 1 litres
• Alimentation de gaz :2 canaux de gaz contrôlés par des vannes à aiguilles
• Générateur: 40KHz/100W accord automatique
• Pompe à vide :nous consulter
• Contrôle :manuel du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.