Description du système

Le système Plasma Atto, un dispositif semi-automatique de plasma de laboratoire avec une capacité de 10,5 litres, est employé dans les domaines ci-après :

• Micro-fluidique (PDMS)
• L’analyse (SEM, TEM)
• Médical
• Recherche et développement
• Traitement des textiles
• Semi-conducteur
• Traitement de plastique

ATTO Semi-automatique kHz / Semi-automatique MHz

• Dimensions du système :L  525 mm, H 257mm, P 420 mm
• Dimensions de lachambre : Ø 211 mm, P 300 mm
• Material de lachambre : Borosilicate
• Volume de lachambre :  10,5 litres
• Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par vannes à aiguille
• Générateur: 40kHz/200W ou 13,56 MHz/300W accord automatique
• Pompe à vide :nous consulter
• Support de pièce :1 plateau
• Contrôle :manuel du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.

ATTO PC kHz / PC MHz

• Dimensions du système :L 525 mm, H 257 mm, P 420 mm
• Dimensions de lachambre : Ø 211 mm, P 300 mm
• Matière de lachambre : Borosilicate
• Volume de lachambre : 10,5 litres
• Alimentation de gaz :1 à 2 canaux de gaz contrôlés par des contrôleurs de débit massiques (MFC)
• Générateur: 40kHz/200W ou 13,56 MHz/300W accord automatique
• Pompe à vide :nous consulter
• Support de pièce :1 plateau
• Contrôle :Le système est contrôlé par un PC avec un écran tactile intégré de 7  pouces (programme multi-étapes, diagramme temps réel, sauvegarde des données)