Le système MiniLab 125 pousse le concept modulaire à un niveau pré-industriel. La chambre permet d’utiliser des ensembles de composants de plus grande taille pour le revêtement de surfaces étendues, tandis qu’une gamme d’options de sas de chargement permet un fonctionnement à haut débit. De plus, ce système est entièrement personnalisable.

Caractéristiques principales

• Outils compacts, sur pied
• Évaporation thermique
• Évaporation à basse température LTE
• Évaporation par faisceau d’électrons E-beam
• Pulvérisation magnétron