Le nanoPVD-S10A-WA est une configuration à large surface qui offre des fonctionnalités supplémentaires par rapport au nanoPVD-S10A, permettant ainsi un revêtement homogène des substrats jusqu’à 8 pouces de diamètre, le tout dans un format compact. Grâce à la pulvérisation magnétron RF et DC, il est possible de déposer à la fois des métaux et des matériaux isolants.

Caractéristiques principales

• Compact au format paillasse
• Fonctionnement entièrement automatique via l’HMI à écran tactile
• Définition/sauvegarde de plusieurs recettes de processus
• Connexion PC pour l’enregistrement des données
• Pressions de base <5 × 10-7 mbar
• Chauffage, décalage en Z et rotation substrat (en option)
• Équipé pour un entretien facile
• Fonctions de sécurité complètes
• Compatible avec les salles blanches
• Performances éprouvées
• Délais de livraison courts
• Excellent rapport qualité-prix