Le modèle ST15A permet de combiner les techniques d’évaporation et de pulvérisation au sein d’une seule chambre. Cela offre une grande flexibilité dans vos recherches dans un format compact et automatisé.

Caractéristiques principales

• Compact au format paillasse
• Fonctionnement entièrement automatique via l’HMI à écran tactile
• Définition/sauvegarde de plusieurs recettes de processus
• Connexion PC pour l’enregistrement des données
• Pressions de base <5 × 10-7 mbar
• Chauffage, décalage en Z et rotation substrat (en option)
• Équipé pour un entretien facile
• Fonctions de sécurité complètes
• Compatible avec les salles blanches
• Performances éprouvées
• Délais de livraison courts
• Excellent rapport qualité-prix