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MiniLab 060

La plateforme la plus populaire de notre gamme MiniLab, le système MiniLab 060, possède une chambre à chargement frontal, idéale pour la pulvérisation cathodique à sources multiples, mais également pour l’évaporation thermique et par faisceau d’électrons.

Caractéristiques principales

  • Outils compacts, sur pied
  • Évaporation thermique
  • Évaporation à basse température LTE
  • Évaporation par faisceau d’électrons E-beam
  • Pulvérisation magnétron

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