avril 24, 2024
Plasma

Plasma : nos systèmes spéciaux

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PLASMA ETCHER TETRA 2 PC – ROLL TO ROLL

Dimensions du système :L 3491 mm, H 1000 mm, P 1278 mm
Dimensions de lachambre : Ø 90 mm, P 1050 mm
Volume de lachambre : 2 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle :Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation :Traitement au passage (en continu), type ‘Roll-to-Roll’ soit de rouleau à rouleau.

PLASMA ETCHER TETRA 15 LF PC

Armoire électrique (avec commande) :L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : L 360 mm, H 150 mm, P 260 mm
Volume de lachambre : 15 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle :Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 30 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 800 mm, H 600 mm, P 500 mm
Dimensions de lachambre : L 240 mm, H 150 mm, P 240 mm
Volume de lachambre : 30 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Ce système peut être intégré dans une ligne de production.

PLASMA ETCHER TETRA 100 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 2000 mm, H 2200 mm, P 2000 mm
Dimensions de lachambre : L 700 mm, H 200 mm, P 700 mm
Volume de lachambre : 100 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Ce système dispose d’une « porte tiroir ».

PLASMA ETCHER TETRA 120 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2150 mm, P 1000 mm
Dimensions de lachambre : L 1200 mm, H 150 mm, P 1700 mm
Volume de lachambre : 120 litres
Alimentation de gaz :4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Ce système dispose d’une porte automatique.

PLASMA ETCHER TETRA 130 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 2100 mm, P 1300 mm
Dimensions de lachambre : L 400 mm, H 400 mm, P 810 mm
Volume de lachambre : 130 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unités à 13,56 MHz (en option: 40 kHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
Propriétés spécifique: Domaine de l’Ultravide (‘UHV’) atteint au moyen d’une pompe turbo-moléculaire.

PLASMA ETCHER TETRA 140 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm
Dimensions de lachambre : L 1200 mm, H 700 mm, P 1500 mm
Volume de lachambre : 140 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 140 LF PC V2

Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm
Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 100 mm, P 1400 mm
Volume de lachambre : 140 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 150 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1000 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
Dimensions de lachambre : L 400 mm, H 600 mm, P 625 mm
Volume de lachambre : 150 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
Automation: Traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau) pour bandes de 400 mm de largeur et rouleau de 300 mm de diamètre.

PLASMA ETCHER TETRA 185 LF PC ‘DESMEARING’

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre: L 400 mm, H 665 mm, P 700 mm
Volume de la chambre: 185 litres
Alimentation de gaz :4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

‘Desmearing’* de divers matériaux.
Nettoyage des surface
Activation des surfaces métalliques
7 baies permettent le traitement simultané de 7 plaques.
Traitement en production de plaques avant découpe de 460 x 610 mm

‘Desmearing’ : terme spécifique désignant le micro-ébavurage de la périphérie de trous effectués conventionnellement ou par LASER (résidus carbonisés).

PLASMA ETCHER TETRA 210 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1560 mm, H 2350 mm, P 1860 mm
Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 200 mm, P 1400 mm
Volume de lachambre : 210 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 240 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 1700 mm, P 3200 mm
Dimensions de lachambre : L 305 mm, H 300 mm, P 2600 mm
Volume de lachambre : 240 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 260 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 2500 mm, H 2200 mm, P 1000 mm
Dimensions de lachambre : L 650 mm, H 500 mm, P 800 mm
Volume de lachambre : 260 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 10 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 375 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : L 600 mm, H 360 mm, P 1900 mm
Volume de lachambre : 375 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 400 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm
Dimensions de lachambre : L 915 mm, H 750 mm, P 725 mm
Volume de lachambre : 400 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation:Le système dispose d’une porte glissante automatique

PLASMA ETCHER TETRA 420 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm
Dimensions de lachambre : L 750 mm, H 800 mm, P 750 mm
Volume de lachambre : 420 litres
Alimentation de gaz :4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 4 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 500 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : L 1500 mm, H 1700 mm, P 200 mm
Volume de lachambre : 500 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: 2 systèmes de traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau).
Contrôle – AsservissementPar PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 575 LF PC

Armoire électrique (avec commande) :L 1150 mm, H 1900 mm, P 1600 mm
Dimensions de lachambre : L 600 mm, H 1200 mm, P 800 mm
Volume de lachambre : 575 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat (modulable)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC

Dimensions du système :L 600 mm, H 2200 mm, P 1200 mm
Dimensions de lachambre : L 810 mm, H 810 mm, P 925 mm
Volume de lachambre : 600 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC V1

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 1000 mm, P 600 mm
Volume de lachambre : 600 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC V2

Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 1800 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : L 580 mm, H 730 mm, P 1000 mm
Volume de lachambre : 600 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité avec système d’accord d’impédance automatique
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 600 LF PC AVEC TONNEAU ROTATIF V1

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : ∅ 1100 mm, P 700 mm
Volume de lachambre : 600 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat:Tonneau rotatif (avec 4 paniers d’un volume de chacun 30 litres)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 850 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1500 mm, H 2000 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : L 1300 mm, H 1800 mm, P 400 mm
Volume de lachambre : 850 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 40 kHz
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 1200 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1000 mm, H 1000 mm, P 1800 mm
Dimensions de lachambre : L 600 mm, H 1000 mm, P 2000 mm
Volume de lachambre : 1200 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 3 unité à 40 kHz
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 2000 RF PC

Dimensions de lachambre : L 1000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm
Volume de lachambre : 2000 litres
Alimentation de gaz :2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 1 unité à 56 MHz
Portes substrats: Plus de 10 portes substrats
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 2400 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : ∅ 1100, P 2500 mm
Volume de lachambre : 2400 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Portes substrats: Tonneau rotatif (comprenant 16 paniers d’un volume de 30 litres chacun)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 4400 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 1000 mm, P 800 mm
Dimensions de lachambre : L 1350 mm, H 2600 mm, P 1250 mm
Volume de lachambre : 4400 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 4 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel

PLASMA ETCHER TETRA 5600 LF PC

Armoire électrique (avec commande):L 1800 mm, H 2200 mm, P 1800 mm
Dimensions de lachambre : L 2250 mm, H 2450 mm, P 1000 mm
Volume de lachambre : 5600 litres
Alimentation de gaz :3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur: 6 unités chacune à 40 kHz (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: Chargement sur un chariot monté sur rails (En option : Tonneau spécial)
Contrôle:Par PC (Windows) avec bus industriel