Système de pulvérisation magnétron RF et DC de paillasse pour les métaux et les matériaux isolants. Compact comme un dispositif de revêtement pour la microscopie électronique, mais doté d’un matériel haut de gamme pour des résultats de niveau R&D.

Caractéristiques principales

• Compact au format paillasse
• Fonctionnement entièrement automatique via l’HMI à écran tactile
• Définition/sauvegarde de plusieurs recettes de processus
• Connexion PC pour l’enregistrement des données
• Pressions de base <5 × 10-7 mbar
• Chauffage, décalage en Z et rotation substrat (en option)
• Équipé pour un entretien facile
• Fonctions de sécurité complètes
• Compatible avec les salles blanches
• Performances éprouvées
• Délais de livraison courts
• Excellent rapport qualité-prix