La plateforme la plus populaire de notre gamme MiniLab, le système MiniLab 060, possède une chambre à chargement frontal, idéale pour la pulvérisation cathodique à sources multiples, mais également pour l’évaporation thermique et par faisceau d’électrons.

Caractéristiques principales

• Outils compacts, sur pied
• Évaporation thermique
• Évaporation à basse température LTE
• Évaporation par faisceau d’électrons E-beam
• Pulvérisation magnétron