Le système MiniLab 026 est une machine PVD sous vide de taille réduite qui se pose au sol et dispose d’une chambre à ouverture par le haut. Il est adapté à la déposition de métaux, de diélectriques et d’organiques par le biais des techniques d’évaporation et de pulvérisation cathodique.

Caractéristiques principales

• Outils compacts, sur pied
• Évaporation thermique
• Évaporation à basse température LTE
• Évaporation par faisceau d’électrons E-beam
• Pulvérisation magnétron